合金在高溫下與空氣接觸將發生氧化表面氧化膜，制藥設備的鋼結構化學成分有著不同的化學穩定性。鋼在500℃以下表面生成薄膜層，在以上出現層，此時氧化膜外表層與鋼中間相接處的地方叫接觸層，鐵離子有很快速的擴充率，因此層較薄。氧化膜的質變依靠鐵離子向表層擴散；可以提高鋼和合金在高溫下的化學穩定性合金元素對鋼的敘化速度的影響；鋼中加人鉻、鋁、硅，可以提高鐵出現的溫度，改善鋼的化學平穩性，通常反應釜鋼表面生成或等尖晶石類型的氧化膜，含硅鋼中的軟化膜，它們具有的防護作用。鉻是抗氧化的基本化學元素，鋁可以獨自加強鋼的抗氧化防護。而硅可以增加合金鋼的脆性，加入適當的量，可以起到制藥機械良好地附加保護作用。其余的化學鋼的抗氧化元素其影響不大。的稀土金元素或堿土金元素能增大耐熱鋼的防止氧化的作用，使其抗氧化能力增強。